藍(lán)寶石表面處理對(duì)氮化鎵光學(xué)性質(zhì)的影響
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上傳人：彭冬生,馮玉春等； 上傳時(shí)間： 2011-07-26 瀏覽次數(shù)： 262 |
| 作者 | 彭冬生,馮玉春,劉文,劉毅,牛憨笨 |
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| 單位 | 中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所；深圳大學(xué)光電子學(xué)研究所；深圳大學(xué)師范學(xué)院 |
| 分類號(hào) | TN304 |
| 發(fā)表刊物 | 《光子學(xué)報(bào)》 |
| 發(fā)布時(shí)間 | 2008年 |
引言
近10多年來,GaN基寬帶隙半導(dǎo)體由于在科學(xué)研究和實(shí)際應(yīng)用方面的重要意義而受到了廣泛的重視,成為當(dāng)前半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域國(guó)際性的研究熱點(diǎn),特別是近幾年藍(lán)色發(fā)光二極管、藍(lán)色激光器及紫外探測(cè)器等光電器件的發(fā)展,顯示出了GaN基材料巨大的應(yīng)用潛力[1-3].合適的襯底材料對(duì)……
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