據(jù)外媒報(bào)道，日本Nitride Semiconductors已開(kāi)發(fā)出一款波長(zhǎng)為365nm的UV LED芯片，并宣稱是首個(gè)用于半導(dǎo)體和PCB制程曝光系統(tǒng)的紫外光源。

　　據(jù)悉，用于半導(dǎo)體制程的曝光系統(tǒng)目前仍使用紫外汞燈，存在待機(jī)時(shí)間長(zhǎng)、工作壽命短、紫外光照度穩(wěn)定性低、開(kāi)關(guān)控制不便等功能性限制問(wèn)題。另外，由于環(huán)境污染問(wèn)題，預(yù)計(jì)《水俁公約》的實(shí)施將推動(dòng)LED光源加快替代含汞光源。

　　Nitride Semiconductors表示，波長(zhǎng)為365nm的新型NS365L-9RXT UV LED芯片具有效率高、節(jié)能且壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，在正向電流If為3A，正向電壓Vf為4.6V的條件下，紫外輸出功率為3.2W。同時(shí)，這款UV LED結(jié)構(gòu)非常緊湊，尺寸為9mm(長(zhǎng)) x 9mm(寬) x 8.5mm(高)，因此安裝密度更高。

　　新型UV LED還具有適用于半導(dǎo)體曝光的窄發(fā)光角。通常情況下，半導(dǎo)體制程為實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)曝光，需要使用平行光。然而，由于UV LED光源發(fā)光角比較寬(約120°)，用于曝光所獲的光量往往不足。因此，通過(guò)結(jié)合深度反射鏡與高透光率透鏡，該公司實(shí)現(xiàn)了小于或等于15°的發(fā)光角。這表明UV LED有可能直接替換傳統(tǒng)曝光系統(tǒng)所用的UV光源，無(wú)需購(gòu)買(mǎi)新的UV LED曝光系統(tǒng)。